Potrebbe avere origini francesi e derivare da uno dei molti toponimi francesi contenenti la radice thermes. Secondo un'altra ipotesi invece ha alla base il vocabolo latino terminus, "luogo di confine", forse ad indicare una caratteristica del luogo di provenienza del capostipite.
Personaggio di rilievo è stato nel 1500 il Generale dell'Esercito toscano Paul de Thermes agli ordini del Re di Francia, mentre nel 1500 i Signori di Thermes in Piemonte esercitavano potestà feudale su molte terre.
Il cognome Thermes è ora presente quasi esclusivamente a Roma.
Il cognome Thermes è 8642° nella regione Sardegna Il cognome Thermes è 3612° nella provincia di Cagliari Il cognome Thermes è 238° nel comune di CAPENA (RM)