Potrebbe derivare dal vocabolo sardo masia, "masseria, fattoria", probabilmente ad indicare che i capostipiti erano dei fattori.
Il cognome Masili è tipicamente sardo, del cagliaritano e di Carbonia. Masile, quasi unico, sembrerebbe del cagliaritano.
Il cognome Masili è 923° nella regione Sardegna Il cognome Masili è 370° nella provincia di Sud Sardegna Il cognome Masili è 2° nel comune di VILLANOVA TULO (SU)