Potrebbe derivare dal vocabolo sardo masia, "masseria, fattoria", probabilmente ad indicare che i capostipiti erano dei fattori.
Il cognome Masili è tipicamente sardo, del cagliaritano e di Carbonia. Masile, quasi unico, sembrerebbe del cagliaritano.
Il cognome Masile è 10983° nella regione Sardegna Il cognome Masile è 3840° nella provincia di Cagliari Il cognome Masile è 1102° nel comune di SAN NICOLA LA STRADA (CE)