Potrebbe derivare dalla Gens Silia o dal nomen latino Silius, di cui si ha un illustre esempio con Tiberius Catius Asconius Silius Italicus (~25 - ~101) più noto semplicemente come Silio Italico, l'autore del poema epico Punica che sviluppa il tema della II guerra punica.
In alcuni casi potrebbe anche derivare dall'aferesi di nomi come Ersilio o Marsilio.
Il cognome Sili è della fascia che comprende il grossetano, il viterbese, la provincia romana e il frusinate. Silio è praticamente unico.