Dovrebbe derivare da un nome di località ora scomparso.
Si trovano tracce di questa cognominizzazione nel 1600 con un Filippo Cavos che sposa la nobile Maddalena Mendini.
Il cognome Cavosi ha un ceppo in provincia di Bolzano ed in trentino. Cavos, praticamente unico, è presente in provincia di Bolzano, ma sembrerebbe originario della zona del lago di Santa Giustina in Trentino.